低コスト・高機能なポリマーMEMSの研究開発動向と応用展開

今後、持続可能な社会の実現、地球的規模の課題への対応にはIoT (internet of things) で代表される産業構造の高度化を推進する必要があります。MEMSはそのキーデバイスであり、益々重要な地位を占めることになります。また、毎年1兆個規模の大量のセンサを社会が消費し活用する近未来の「トリリオン・センサ (trillion sensor) 」構想があります。これは現在のセンサ需要の100倍に当たります。この構想を実現するには、センサコストは現在の1/100とすることが望まれます。そこで、低コストで大量生産が得意なポリマー材料を用いたMEMSの登場が必須となります。これらの展望を本セミナーで皆さんと一緒に考えたいと思います。 　環境に優しいポリマー材料を用い、そのしなやかさ熱膨張特性を利用し可動部を有するマイクロセンサやアクチュエータの製作が可能となりました。製造プロセスはこれまでの半導体プロセスに比べ低い設備投資で、MEMS産業への参入障壁が低くなると期待されます。本セミナーではMEMSの技術動向、ポリマーMEMSの製作例を紹介すると共に実用化に重要な信頼性試験結果を示します。これらの結果をもとにポリマーMEMS技術の展望について眺めてみたいと思います。

1. MEMSの概論
   1. MEMSとは
   2. MEMS技術の開発推移
   3. MEMSのこれまでの開発例紹介
2. MEMSの産業化の推移
   1. MEMSの市場予測
   2. ポリマーMEMSの産業化の展望
3. ポリマー材料の特徴
   1. ポリマーとシリコンの材料特性の比較
   2. ポリマーMEMSの開発のねらい
4. ポリマーMEMS製造技術
   1. シリコン金型の製作技術
   2. ポリマーMEMS製造プロセス
   3. ポリマーMEMS製造プロセスの特徴
5. ポリマーMEMSの実証試作
   1. 静電駆動マイクロアクチュエータ
   2. 静電駆動マイクロミラーデバイス
   3. 熱電型マイクロアクチュエータ
   4. 容量型加速度センサ
6. バイオ技術への応用
   1. バイオ検査デバイス試作例紹介
7. 信頼性試験
   1. 寿命試験
   2. 引張強度試験
8. ポリマーMEMS応用の展望
9. まとめ
• 質疑応答