よい塗布膜を得るための塗布・乾燥のノウハウと最適化

塗布乾燥プロセスは、処理能力の高さ、低コスト性などの観点から、主要な製造技術として用いられてきた。プロセスの高品化および高速化は、生産効率の向上やコスト削減には不可欠な課題である。 　本講座では、表面エネルギー等の塗布乾燥の基礎に基づき、プロセスの本質を理解することで高品位化・高速化を考察することを目的とし、塗布乾燥におけるトラブルを解決する能力を養う。また、日々のトラブルや研究開発における相談も可能です。

1. 塗布膜形成の基礎
   1. 塗工液から塗布膜へ (塗布膜形成・溶剤の役割)
   2. 塗布・乾燥プロセス
      • 溶剤蒸発
      • 表面硬化層
      • 応力発生
2. 濡れの基礎
   1. Youngの式、表面エネルギー、接触角
   2. ウェットプロセスの評価手法 (濡れ仕事と拡張係数)
   3. 様々な濡れ挙動
      • パターン配置
      • 基板材質の差
      • 基板の凹凸
      • 時間変化
3. 乾燥メカニズムと高品質化
   1. 乾燥を支配する拡散、蒸気圧、ラプラス力とは?
   2. 乾燥装置を最適化するには?
   3. 高品位な塗布膜を得るには?
4. 乾燥速度を支配する要因
   1. 乾燥をコントロールするには?
   2. なぜ乾燥速度が一定なのか?
   3. 不均一乾燥はなぜ生じる?
5. 高速乾燥へ向けた指針
   1. 高速乾燥と低速乾燥はどちらが有利か?
   2. 乾燥時間を短くするコツは?
6. 塗布・乾燥トラブル対策 (発生原因を特定し解決策を見極める)
   1. 乾燥ムラ (塗布膜の面内不均一)
   2. 膜剥離 (ポップアップ)
   3. クラック (応力ミスマッチ)
   4. クレイズ (環境応力亀裂)
   5. フラクタル粘性指状 (VF) 変形 (界面付着性の劣化)
   6. 微粒子の乾燥 (ウォーターマークの形成)
7. 質疑応答 (日頃のトラブル・技術開発相談に応じます)

• 質疑応答・名刺交換