プラズマ表面処理の必須基礎知識と応用展開

プラズマを利用した材料表面処理プロセスに携わる上で、原理や技術的背景など、必ず知っていなければならない知識を、初心者にもわかりやすく講演します。さまざまなプラズマ表面処理プロセスを、応用上のノウハウや注意点も交えながら紹介します。

1. はじめに:表面処理とは
2. プラズマ表面処理の基盤技術
   1. 真空技術
   2. プラズマ技術
3. 薄膜堆積プロセス
   1. イオンプレーティング法
   2. スパッタリング法
   3. プラズマCVD法
4. 表面改質プロセス
   1. プラズマ窒化・浸炭
   2. 濡れ性制御
   3. 酸化還元処理
5. プラズマモニタリング
   1. プローブ法
   2. 発光分光法
   3. 質量分析法
6. 最新のプラズマ技術
   1. 大気圧プラズマ
   2. 液中プラズマ
   3. 医療・農業分野への展開
7. おわりに:プラズマ表面処理が拓く未来
• 質疑応答