MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) は、半導体微細加工技術を応用して、小形で高度な機能部品を作る技術である。センサやアクチュエータなどを電子回路と集積化して作ることができる。 自動車関係から携帯情報機器のユーザインターフェース、製造・検査、医療・バイオなどに幅広く使われ、その売り上げは13%/年の割合で成長している。これは多様な技術を組み合わせて様々な用途に使われ、しかも標準化し難いため、開発がボトルネックになっている。知識へのアクセスや設備利用などでのコラボレーションも重要であり、本セミナーではそのための具体的な情報を提供する。