MEMS技術のトレンドと最新技術動向

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プログラム

MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) は、半導体微細加工技術を応用して、小形で高度な機能部品を作る技術である。センサやアクチュエータなどを電子回路と集積化して作ることができる。  自動車関係から携帯情報機器のユーザインターフェース、製造・検査、医療・バイオなどに幅広く使われ、その売り上げは13%/年の割合で成長している。これは多様な技術を組み合わせて様々な用途に使われ、しかも標準化し難いため、開発がボトルネックになっている。知識へのアクセスや設備利用などでのコラボレーションも重要であり、本セミナーではそのための具体的な情報を提供する。

  1. マイクロマシーニングとMEMS
  2. 製作
    1. パターニング
    2. エッチング
      1. ウェットエッチング
      2. ドライエッチング
    3. 堆積と応力制御
    4. 接合
    5. 複合プロセスと表面マイクロマシーニング
    6. 集積化
    7. パッケージングと組立
    8. 設計・評価
  3. 要素
    1. センサ
    2. アクチュエータ
    3. エネルギ源
  4. 応用
    1. 自動車・家電応用
    2. 情報・通信応用
    3. 製造・検査応用
    4. 医学・バイオ応用
    5. MEMSビジネス
    • 質疑応答・名刺交換

会場

品川区立総合区民会館 きゅりあん
140-0011 東京都 品川区 東大井5丁目18-1
品川区立総合区民会館 きゅりあんの地図

受講料

  • 1名様: 42,750円(税別) / 47,025円(税込)
  • 複数名: 22,500円(税別) / 24,750円(税込)

複数名同時受講の割引特典について

  • 2名様以上でお申込みの場合、
    1名あたり 22,500円(税別) / 24,300円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,750円(税別) / 46,170円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 48,600円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 72,900円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
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