本セミナーでは、マイクロマシン/MEMS研究の第一人者、「江刺 正喜 先生」がMEMSデバイスの最新技術について、最新著作「これからのMEMS – LSIとの融合 – 」を基に解説いたします。
様々な用途での活用が期待されているMEMSは、多様な要素からなるため巾広い知識を必要とし、CMOS LSIのように標準化することは難しく、また一連の半導体加工装置を必要とするため、開発がボトルネックになっています。 このような中、本セミナーはマイクロマシン/MEMSの第一人者である東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター (μSIC) センター長の江刺正喜氏の最新著作『これからのMEMS – LSIとの融合 – 』を基に、MEMSの応用やニーズから様々なMEMSをLSI上に形成する「ヘテロ集積化」を可能にする技術までについて、わかりやすく、かつ詳細に解説します。
テキストとして、「 これからのMEMS LSIとの融合 」 (2808円) を使用いたします。
テキストが必要な方は、お申し込みのテキスト希望欄から「必要」をご選択下さい。
受講料と、テキスト代(実費)を合わせて請求させていただきます。