クライアントからクリーンルームの異物管理について監査時に指摘されることが増えているが、従来のクリーンルーム管理からどのように対策していけばよいのか、正直よく分からない。品質担当者がクライアントからの要求を聞いてくるが、現場が対応できずに困っている。というような声を聴くことが増えてきました。クリーンルーム管理と言えば、パーティクルカウンターを使用して浮遊微粒子数を定点観測する、という方法が主流でした。しかし、異物不良ゼロを目指す最新のクリーンルームコンセプトでは通用しません。
そこで本講座では、異物不良ゼロを目指す上で必要となるクリーンルーム管理の手法について解説します。お使いのクリーンルームを評価するときにそのポイントはどこなのか? どういう判断基準で管理すればよいか? 実験動画や事例を交えて初心者の方にもわかりやすく、ノウハウをお教えします。
- 異物不良はなぜ起こる?
- クリーンルームとは?
- クリーンルームの定義と規格。
- 異物はどこから来る?
- クリーンルームは微小異物をどのように防いでいる?
- 微小異物の大きさ
- 微小異物の挙動を可視化
- 微小異物の厄介な点
- 微小異物の見える化
- クリーンルームライト
- 気流可視化装置
- 数値管理
- 情報の共有
- 除塵とクリーンルーム清掃
- 付着のメカニズム・除塵のメカニズム
- エア除塵
- ワイパー (布による拭き上げ)
- 粘着ローラー
- クリーンルーム清掃
- クリーンルーム清掃の原則
- クリーンルーム清掃ツールの種類と特徴
- いつ清掃を行うか?
- 床の清掃
- 作業台の清掃
- 装置内の清掃
- 装置と局所クリーン化
- 治具の清掃
- コンテナ、トレイの清掃
- 清掃しやすいクリーンルーム/しにくいクリーンルーム
- 清掃用具のメンテナンス
- クリーンルーム清掃の評価
- ここまでが、クリーンルーム清掃
- 持ち込み異物の軽減
- クリーンウエアの管理
- クリーンクリーニング
- タンブリング試験
- 前室の管理
- 前室での交差汚染
- 前室清掃のポイント
- エアシャワー
- 正しいエアシャワーの運用方法
- エアシャワーの除塵率
- エアシャワーと粘着ローラー
- エアシャワーの静電気対策
- インテリジェントエアシャワー
- クリーンルームワイパーを考える
- 不織布ワイパーからの発塵
- ワイパーの運用方法
- 製品への異物の付着防止
- 静電気付着とは? ESD対策との違い
- クーロンの法則から対策を読み解く
- 静電気付着対策と清掃
- クリーンルーム気流と付着
- 気流による異物付着の例
- 気流改善提案
- 作業員教育
- クリーン化推進のために…
- クリーン化の6S
- クリーン化推進委員会