異物対策のためのクリーンルーム管理

近年、異物対策がクリーンルームの問題として急浮上してきました。特に目に見えるかどうかというクリーンルームにしては比較的大きな粒子が問題です。しかし、大きな粒子独自の挙動を知らなければ、有効な対策はできません。また、静電気付着対策も分かりにくいものです。静電気対策は見えるかできないのか?どんな場合はイオナイザーが効果あるのか?などよく尋ねられます。 　本講ではクリーンルームの管理者を対象に異物の対策方法・静電気付着対策を提案します。実践レベルの知識を多く取り上げ、動画によるわかり易い解説に心がけます。

1. クリーンルームの異物対策
   1. クリーン化技術とニーズ
   2. クリーンルームの設計思想
   3. 異物の大きさと挙動について
   4. 気流について
   5. 異物はどこから来るのか?
   6. 堆積する異物と除塵
   7. 微小異物の見える化
   8. クリーンルームライトの活用
2. 異物の付着と除塵について～大切な製品に異物を付着させないために～
   1. 付着のメカニズム
   2. 作業員からの発塵
   3. 発塵について
   4. 付着持込み対策
   5. 除塵について
   6. 付着させない技術
3. 静電気付着対策について
   1. 静電気とは?静電気の基本を学ぶ。
   2. ESD対策を選べばよいのか? ESA対策を選べばよいのか?
   3. 加湿と静電気対策
   4. イオナイザーの適切な使い方
   5. 除塵と静電気による再付着
4. クリーン化機器について
   1. エアシャワーの効果
      • 髪の毛
      • 繊維くず
      • ポリアミド系異物
      • パーティクル
   2. エアシャワーで落としたゴミはどこへ行く
   3. エアシャワーと静電気吸着
   4. クリーン化機器の設置事例
   5. 拡散板の効果
   6. 局所クリーン化
5. 作業員からの発塵・対策
   1. クリーンルームの6Sとは?
   2. クリーンウエアとは?
   3. 動きやすさ・快適性の追求と発塵対策
   4. 清掃用具と評価について
   5. クリーン化文化を作ろう (習慣づけ)
6. まとめ