新しい大気圧プラズマ源の開発と応用展開

大気圧プラズマは真空容器や排気設備を必要とせず、また高密度な活性種を生成できるため、産業応用には大変多くのメリットがあります。このため、ここ数年、材料表面の親水化処理、接着性の向上、クリーニング等の分野で急速に利用され始めています。学術的にも、IEEEの国際会議では2005年には1%以下だった大気圧プラズマの発表件数が、近年では25%を越すまでに激増しています。しかし、大気圧プラズマの発生や利用法についてはブラックボックスな部分が多いため、産業応用へのしきいが高いのも事実です。 　そこで本講演では、大気圧プラズマの物理をわかりやすく解説するとともに、講師の最新の研究テーマである、ダメージフリープラズマ、マルチガスプラズマ、温度制御プラズマなどの開発およびこれらを用いた、高速表面クリーニング、接着性改善、超高速酸化膜還元、リアルタイムガス分解、新しい殺菌処理、医療・美容関連分析などにスポットをあてて研究成果をご紹介します。

1. 大気圧プラズマの基礎
   1. なぜ大気圧プラズマ?
   2. プラズマとは
   3. プラズマの特長
   4. 大気圧プラズマの生成法
   5. プラズマ中の原子・分子過程
   6. プラズマの物理
   7. 大気圧プラズマの計測法
2. 新しい大気圧プラズマのコンセプトと装置
   1. 大気圧プラズマの分類
   2. リモートプラズマ
   3. ダメージフリープラズマ
   4. マルチガスプラズマ
   5. 温度制御プラズマ
3. 大気圧プラズマの応用例
   1. 表面処理への応用
      • 接着前処理
      • 酸化膜還元
      • コーティング等
   2. 殺菌・医療・バイオ分野への応用
   3. 環境浄化・分析への応用
   4. 医療・美容関連分析への応用
4. 大気圧プラズマの有効な利用法と近未来展望
• 質疑応答