多様な微小部・表面・界面の分析技術と正しいデータ解釈

多様な高品質材料・機能素子・部品の開発・品質管理には、様々な顕微鏡・マイクロアナライザー・表面分析装置・界面分析装置が用いられており、現在150種あるいはそれ以上の手法が知られています。どれが目的にかなっているかの判断は簡単ではなく、羅列的に覚えてもあまり役には立ちません。多くの手法に用いられている荷電粒子や電磁波の性質・振舞いを十分に理解し、信号検出の仕組みやデータの成り立ちから理解する力が有用です。 　他方、ナノ～ミクロンの情報には様々な要因が混在し、真実・非真実を見抜く力、美しいデータに潜む落とし穴を見抜く力は大変重要です。

1. 表面・微小部・界面分析で何を知りたいか何が分かるのか?
2. 表面・微小部・界面の分析法
   1. 電子の性質と試料との相互作用・振舞い
   2. イオンの性質と試料との相互作用・振舞い
   3. X線の性質と試料との相互作用・振舞い
3. 特に汎用性のある分析法の特徴
   1. SEM-EDX、EPMA、AES、SIMS、XPSの特徴
   2. 様々な分析法の特徴と比較
   3. 分析法比較の注意
4. 試料前処理の注意
   1. 分析対象の維持と試料保管中・試料作成中の汚染対策
   2. 真空と表面
5. スペクトルの意味するもの
   1. 電子スペクトルの特徴と注意
   2. イオンスペクトルの特徴と注意
   3. X線スペクトルの特徴と注意
6. 空間分解能
   1. 空間分解能とは? その重要性
   2. 空間分解能は何によって決まり、どのように分析データに反映するか
   3. 走査像の分解能、擬似分解能
   4. 空間分解能の落とし穴
7. 先端分析技術 特にナノ分析について
   1. 電子・イオン・X線によるナノ分析の可能性
   2. X線による最先端解析の紹介
      • X線を曲げる絞る、X線のナノ観測