研磨加工技術の基礎・入門

研磨加工技術は古くからある加工技術にもかかわらず、現在でも多くの先端デバイスの最終仕上げ加工法として用いられています。それは研磨加工が他の加工技術を凌駕する優れた特徴を有するためですが、一方で、検討すべき因子が多く最適なパフォーマンスを得るのに苦労する方が多いのも実際ではないでしょうか。この問題を解決し優れた研磨加工を実践するには、研磨加工全般にわたり系統立った知識を適切に獲得し、その知識を駆使する中で最先端の加工技術を習得していく必要があります。 　こうした観点にもとづき、本講座では研磨加工の基礎に重点を置きつつ、最新の動向までを整理し系統立って解説します。これから研磨加工に従事されようという初心者・新人の方々、また今一度再確認されたいという方々、さらにはこれからの研磨加工の開発動向を把握されたい加工技術者の方々に有意義な講義になるものと考えます。

1. 研磨加工の基礎知識
   1. 研磨加工の特徴
   2. おもな加工方式と加工機械
   3. 様々な研磨加工技術
   4. 砥粒・工具の種類と特徴
   5. 周辺技術
   6. 研磨加工における除去加工モデル
2. 最新の研究開発動向
   1. 高平坦研磨加工:グローバル平坦化とエッジサイト平坦化
   2. 高能率研磨加工
   3. 固定砥粒研磨加工
• 質疑応答