本セミナーでは、マイクロマシン/MEMS研究の第一人者、「江刺 正喜 先生」がMEMSデバイスの最新技術を解説いたします。
MEMSデバイスが組み込まれたアプリケーションが次々と登場しています。これらのアプリケーションにおいては、例えばMEMSマイクの用途として、携帯電話などに複数搭載することでデジタル音声信号処理による雑音除去を行わせたり、自動車のエンジンルームに設置して異音をキャッチするセンサとして利用するなど、微細化や耐熱性などといったMEMSの特徴を生かした新たな活用に期待が集まっています。 本セミナーでは、このように様々な分野に展開されているMEMSデバイスとして、圧力センサ、MEMSマイクロフォン、加速度センサ、MEMSジャイロの主要4製品を取り上げ、その最新技術をマイクロマシン/MEMS研究の第一人者である東北大学 原子分子材料科学高等研究機構 教授 江刺正喜氏が分かりやすく、かつ詳細に解説します。