ナノインプリントの基礎とナノデバイス・3次元構造の作製・応用技術

本講では、熱ナノインプリント、UVナノインプリントの基本的な物理化学の知識を身につけます。 　さらに、リバーサルナノインプリントやハイブリッドナノインプリントなどを含めた、応用プロセスについて学びます。また、ナノインプリントならではの多彩な応用技術について紹介します。これまで気付かなかったナノインプリントの隠れたメカニズムや応用について、系統だてで解説します。

1. ナノインプリントの特徴・必要条件、他技術と比べた場合の優位性と得意でない応用
2. ナノインプリントの樹脂レオロジー、UV硬化反応、モールド/樹脂界面のトライボロジー
3. 熱・UVナノインプリントの成形メカニズムと、材料・プロセスの設計最適化
4. 熱・UVナノインプリントにおけるパターン欠陥の要因とその解消
5. 離型メカニズムと離型方法
6. 樹脂の収縮と寸法精度
7. 欠陥回避・高精度加工のための材料、モールド、プロセス技術
8. 2.5次元構造のモールド作製方法
9. リバーサルナノインプリントの原理と3次元構造
10. ハイブリッドナノインプリントの原理と3次元構造
11. ナノインプリントの応用
    1. ナノ光学素子へのナノインプリント応用
    2. バイオチップへのナノインプリント応用
    3. 生体模倣構造へのナノインプリント応用
    4. バイオチップへのナノインプリント応用
    5. 有機太陽電池へのナノインプリント応用
    6. 半導体へのナノインプリント応用
12. 今後の展望と最新動向