クリーンルームの評価・管理のための自己診断方法

「弊社のクリーンルームは出来て○年、当時の担当者もおらず、施工したメーカーも不明。完成図書もない。どのように管理したらよいだろうか? そもそもクリーンルームとして機能しているのだろうか?」意外なようですが、こんな現場担当者の声をよく耳にします。 　お使いのクリーンルームを評価するときにそのポイントはどこなのか? どういう判断基準で管理すればよいか? 実験動画や事例を交えて初心者の方にも分かり易く、ノウハウをお教えします。

1. 客先監査の対象となる異物が分かっていますか? 大きさ・物性・分布
   1. クリーンルームにおける異物とは?
   2. クリーンルームの定義
   3. 浮遊微粒子と清浄度クラス
   4. 異物の大きさと挙動
   5. 物性
   6. 異物の由来 どこから異物は来るのか?
   7. 異物の分布
   8. 異物の堆積
2. どのように評価していますか?
   1. 付着のメカニズム
   2. 交差汚染の防止
   3. パーティクルカウンター
   4. パッチテスト
   5. クリーンルームライトによる見える化
   6. 数値化と表面清浄度
3. 異物はどこから発生していますか?
   1. 装置の駆動部
   2. 摩擦による発塵
   3. 発塵の場所依存性
   4. 発生場所からの飛散防止
4. 異物の持ち込みはコントロールできていますか?
   1. 外気からの持ち込み防止
   2. 作業員からの持ち込み防止
      1. 前室
      2. クリーンウエアの管理
      3. 手袋・靴など
      4. 台車など
5. 異物の除去方法は確立していますか?
   1. クリーンルームの清掃とは?
   2. 清掃ツールの選び方
   3. 除塵ツール
6. クリーン化設備の仕様・構造・メンテナンス
   1. 装置内のクリーン化 クリーン化機器の設置
   2. 装置内クリーン化のセンシング
   3. クリーンルームとクリーンブース
   4. コストをかけずにクリーン化する方法
   5. エアシャワーを効率よく使用する方法
   6. インテリジェントエアシャワー
7. よりよい管理を進めていくために
   1. クリーン化推進のためのシステム
   2. クリーン化の6S
   3. クリーン化のゴールとは?
   4. クリーン化の継続のために
8. 質疑応答