クリーンルーム清掃の勘どころ

主にエレクトロニクス、光学、電子部品特に車載デバイス、精密成型及びその加飾 (塗装、膜付け) のクリーンルーム管理者に向けて、クリーンルーム清掃をメインテーマとしたセミナーです。クリーンルームにも清掃は必要であり、生産活動の一部だと位置づけられています。しかし、クリーンルームで対象とする微小異物は目に見えないほどの大きさでかつ日常私たちが家庭やオフィスで行うような清掃方法ではあまり効果が無いので特別なスキルを持って行わなければなりません。 　ところが、クリーンルームの規格には作業員の教育や清掃の方法といったソフト面については言及されていないので、実際のところクリーンルームユーザーは方法については手探りの状態で清掃をされているような状態ではないでしょうか? 本セミナーでは年間20ヶ所以上で様々な業界のクリーンルーム診断を行っている講師の経験から、クリーンルーム清掃について徹底的に考えてみたいと思います。 　合わせて、最近、話題になる事が多い持ち込みゴミ軽減のための提案、静電気付着対策について、動画や事例を挙げて提案いたします。

1. クリーンルーム清掃について
   1. 清掃の対象、微小異物を知ろう
      1. 微小異物はどこからやってくる?
      2. クリーンルームは微小異物をどのように防いでいる?
      3. 微小異物の大きさ
      4. 微小異物の挙動を可視化
      5. 微小異物の厄介な点
   2. 微小異物の見える化
      1. クリーンルームライト
      2. 気流可視化装置
      3. 数値管理
      4. 情報の共有
   3. 除塵のメカニズム
      1. 付着のメカニズム・除塵のメカニズム
      2. エア除塵
      3. ワイパー (布による拭き上げ)
      4. 粘着ローラー
   4. クリーンルーム清掃
      1. クリーンルーム清掃の原則
      2. クリーンルーム清掃ツールの種類と特徴
      3. いつ清掃を行うか?
      4. 床の清掃
      5. 作業台の清掃
      6. 装置内の清掃
      7. 装置と局所クリーン化
      8. 治具の清掃
      9. コンテナ、トレイの清掃
      10. 清掃しやすいクリーンルーム/しにくいクリーンルーム
      11. 清掃用具のメンテナンス
      12. クリーンルーム清掃の評価
      13. ここまでが、クリーンルーム清掃
2. 持ち込みゴミの軽減
   1. クリーンウエアの管理
      1. クリーンクリーニング
      2. タンブリング試験
   2. 前室の管理
      1. 前室での交差汚染
      2. 前室清掃のポイント
   3. エアシャワー
      1. 正しいエアシャワーの運用方法
      2. エアシャワーの除塵率
      3. エアシャワーと粘着ローラー
      4. エアシャワーの静電気対策
3. 静電気付着対策
   1. 静電気付着とは? ESD対策との違い
   2. クーロンの法則から対策を読み解く
   3. 静電気付着対策と清掃
4. 作業員教育
   1. クリーン化推進のために…
   2. クリーン化の6S
5. まとめ
• 質疑応答