ナノインプリントの離型性向上技術

1. ナノインプリントの離型メカニズム、離型性評価と欠陥を抑える離型方法

(2015年12月22日 10:30～14:15 ※昼休み45分含む)

　ナノインプリントでは、離型プロセスは歩留りを左右する重要なプロセスです。本講では、離型の力学的なメカニズムについて、コンピュータシミュレーション析を駆使し、そのメカニズムについて詳しく紹介します。これに基づき、離型に関する材料の評価方法についても触れるとともに、欠陥を抑える離型方法について紹介します。

1. ナノインプリントとパターン欠陥
   1. パターン欠陥の概要
   2. 成型時の欠陥
   3. 離型時の欠陥
2. 離型の物理化学
   1. 接着と剥離モデルと剥離のパラメータ
   2. 破壊力学と剥離
   3. モールド/樹脂の摩擦
3. 計算機シミュレーションによる離型メカニズム
   1. 計算モデル
   2. 離型の基本メカニズム
   3. 垂直離型、剥離離型、ロール離型
4. 離型メカニズムと材料・プロセス条件
   1. 剥離のパラメータの依存性
   2. モールドトポロジー依存性
   3. 離型方法と応力集中
      • ピール離型
      • ロール離型
      • 垂直離型
5. 欠陥回避のためのモールド表面処理
   1. シランカップリング剤によるフッ素樹脂層コート
   2. 偏析剤による離型性向上
6. 離型メカニズムに基づく離型方法
   1. 垂直離型とピール離型
   2. ステップ離型とプッシュバック離型
• 質疑応答

2. 離型性に優れたUV硬化樹脂

(2015年12月22日 14:30〜16:00)

　当社(三洋化成工業)独自に設計した離型剤 (リン酸エステルアミン塩) をUVシステムに組み合わせることで、金型からの離型性に優れ、かつ基材密着性に優れたUV硬化樹脂を開発した。 　本技術は複雑形状の金型賦型UV硬化型プロセスに対して、高い離型性を発現すると共に、作成した賦型フィルムの長期信頼性 (基材との密着性) も確保できるものである。

1. 三洋化成工業のご紹介
   1. 当社概況
   2. 当社事業拠点
   3. 当社製品群のご紹介
2. 当社でのUV硬化樹脂の開発
   1. 開発経緯
   2. 当社UVモノマーご紹介
   3. 当社UV硬化樹脂ご紹介
3. 離型性に優れたUV硬化樹脂
   1. 開発ターゲット
   2. 設計思想
   3. メカニズムの解析
   4. 応用展開
• 質疑応答