真空プロセスの概要、構成、運用管理、トラブル対策、真空計測

第1部 真空技術、真空プロセスの概要

(2015年12月8日 10:30〜12:10)

　真空技術は製膜やエッチングなどの半導体製造分野の他に、食品のフリーズドライ、自動車部材やコーティング・化粧品クリームの脱泡、機能性コーティングやめっき処理、製薬業界での不純物対策など、ありとあらゆる産業で用いられている。そもそも真空とは何か、なぜ真空下でプロセスを行わなければならないのか、といった基本的な事項について平易に解説する。

1. 真空技術の基礎
   1. 気体の性質
   2. 平均自由行程
   3. 入射頻度
   4. 気体のコンダクタンス
   5. プラズマの基礎
2. 真空排気システムの構成
   1. 真空排気システムの考え方
   2. 排気の実際とベーキング
3. 製膜技術の中での真空技術
   1. 真空を利用した製膜・エッチング技術
   2. 真空蒸着法
   3. スパッタリング法とイオンプレーティング法
   4. 化学気相成長法
   5. ドライエッチング
4. その他産業での真空技術の応用
   1. 吸引プロセス
   2. 吸着・搬送プロセス
   3. ガスや有害物質の収集、気体の置換
   4. プラスチック成形や加飾プロセス
   5. 液体の充填
   6. 真空乾燥、酸化防止
   7. 冷却、断熱
   8. 蒸留、濃縮
   9. 脱気、脱泡、他
• 質疑応答

第2部 真空計測とリークテスト

(2015年12月8日 13:00〜14:40)

　低真空・中真空、そして超高真空を測定するために、様々な原理に基づく真空計が用いられています。現在、幅広く利用されている各種真空計の原理と特長について解説します。さらに、清浄な真空環境を実現するために不可欠なリークテストについても学習します。

1. 真空計測の重要性
2. 各種真空計の原理と特長
   1. 圧力の単位Pa (パスカル) とは
      (単位変換の練習問題)
   2. 真空計の分類
   3. 隔膜真空計
   4. ピラニ真空計 (熱伝導真空計)
   5. 粘性真空計
   6. 電離真空計
   7. 複合真空計
   8. 分圧真空計 (質量分析計)
      1. 分圧真空計 (質量分析計) の種類と原理
      2. 四極子形質量分析計
      3. 磁場偏向形質量分析計
      4. マススペクトルの読み方
   9. ヘリウムリークディテクター
3. 各種流量計の原理と特長
   1. 流量の単位
      (単位変換の練習問題)
   2. 真空技術で用いられる流量計
   3. マスフローコントローラーの原理と特長
   4. 物理的な孔 (あな) を用いた気体の定量導入
4. リークテストの種類と方法
5. 正確な真空計測を行う上での注意点
6. 各種真空計やヘリウムリークディテクターの校正方法と標準
• 質疑応答

第3部 真空機器の保守点検、トラブルや安全対策

(2015年12月8日 14:50〜16:30)

　真空ポンプ等の保守点検、使用上の注意などの他、真空装置・機器全般のトラブルや安全対策を、事例を交えて解説する。

1. 真空装置の保守管理の考え方
2. 油回転ポンプ
3. ドライポンプ
4. ルーツポンプ
5. 油拡散ポンプ
6. クライオポンプ
7. ターボ分子ポンプ
8. 真空装置・関連部品の点検・保守
• 質疑応答