表面・微小部・深さ方向の分析と試料前処理およびデータの真実・非真実を見抜く養成講座

多くの進化した工業材料や機能素子は、ミクロン～ナノの表面・微小部の集合体と言える。これらの開発・品質管理に、いろいろな多種のマイクロアナライザーや表面分析装置が用いられているが、どれが目的にかなっているかの判断は簡単ではない。 　また、それらの装置の多くはパソコン操作により自動で綺麗なデータが得られるようになっているが、そのミクロン～ナノ～原子の世界の真実を本当に視ているのであろうか。 ブラックボックス化された装置の中を覗いてみると、いろいろな落とし穴が潜んでいる。 　分析原理・試料作製・装置構成・操作がもたらす真実・非真実を見抜く力を養成する。

1. 機能材料・精細部品・構築材料が求める高度な品質
   1. 表面・微小部・深さ分析に求めるもの
   2. 何が分かるか、どこまで分かるか?
2. 表面・微小部・深さ方向のさまざまな分析法
   1. 電子の振る舞いと試料との相互作用
   2. イオンの振る舞いと試料との相互作用
   3. X線の振る舞いと試料との相互作用
   4. さまざまな分析法
3. 特に汎用性のある分析法の特徴と比較
   1. SEM – EDX、EPMA、AES、SIMS、XPSの特徴と比較
   2. 様々な分析法の特徴と比較
   3. 分析法比較の注意と落とし穴
4. 試料前処理の注意
   1. 分析対象の維持と試料保管中・試料作成中の汚染対策
   2. 真空と表面
5. スペクトルの意味するもの
   1. 電子スペクトルの特徴と注意
   2. イオンスペクトルの特徴と注意
   3. X線スペクトルの特徴と注意
6. 空間分解能
   1. 空間分解能とは? その重要性
   2. 空間分解能は何によって決まり、どのように分析データに反映するか?
   3. 走査像の分解能
   4. 様々な事例
   5. 空間分解能の落とし穴
7. 最先端の分析技術の紹介
   1. 顕微メスバウア法による極微量鉄の原子状態分析
• 質疑応答・名刺交換