クリーンルームの基礎知識

クリーンルーム技術の発展は、半導体製造用クリーンルームが牽引してきたといっても過言ではなく、これまで様々な汚染問題の検証や技術の開発がなされてきました。これらは、先人達が苦労して築き上げてきたものであり、論文や書籍等で伺い知る事ができます。一方、クリーンルームは様々な産業で使用されるようになってきているものの、各社でクリーン化を担当している方々におかれては、クリーンルームの基本的な維持管理など、相談する相手がいなかったり、先に述べた論文・書籍等を知らなかったり、様々な点で苦労していることが多いと思われます。 　本セミナーは、初めてクリーンルームに携わる人のほか、クリーンルームに関わる技術を一度体系的に学びたい方を対象に、クリーンルームの基礎知識を分かりやすく、動画や実データを用いて解説する予定です。 　つきましては、日頃の業務に役立てて頂きたく、ぜひ本セミナーにご参加下さいますよう、お願い申し上げます。

1. はじめに
2. クリーンルームの概要
   1. クリーンルームとは
   2. 非一方向流と一方向流の違い (動画による比較)
   3. クリーンルームの指針や規格
   4. 清浄度の決定・計算方法
3. クリーンルームの気流制御・局所化
   1. 微粒子の挙動
   2. 気流制御の要点 (動画による解説)
   3. 吸込口の位置影響
   4. グレーチングの効果
   5. 局所化の実施例
4. クリーンルームの維持管理
   1. モニタリング
   2. 作業者の管理、発塵源
   3. クリーンルームの清掃
5. ケミカル汚染対策
   1. ケミカル汚染とは
   2. 測定方法と注意事項
   3. 汚染対策
      • 脱ガス、湿式除去方式の要点
      • 既設改造時の注意事項
   4. 対策事例
      • 有機フリーCR
      • イオンフリーCR
6. イオナイザの発塵対策
   1. 静電気対策の概要
   2. イオナイザの種類と特徴
   3. コロナ放電式イオナイザからの発塵とその対策
   4. 軟X線イオナイザ
7. クリーンルームの省エネルギー
   1. 主な省エネ手法
   2. 省エネ事例
      • 気化式加湿を利用した外気処理
      • 低湿度対応CRの省エネなど
• 質疑応答