クリーンルームにおける粗大粒子対策の取り組み方

車載用デバイスやスマートフォンに使用される電子部品、2次電池の製造工程、機能性フィルムなどのコンバーテック技術、あるいは精密成型などで要求されるクリーン化は書籍に載っているような浮遊微粒子を対象とするものではなく、5～100μmの大きさの粒子 (粗大粒子) 対策を重点的に行うケースが圧倒的多数を占めています。 　この講義では粗大粒子の付着・混入対策に焦点を置き、持ち込みを含む発生源の特定から軽減する具体的な方法、クリーンルーム内異物の見える化、定量化の仕方、製品への付着防止 (静電気対策、気流制御) の対策を事例報告や実証動画を交えてわかり易く解説いたします。

1. クリーン化とは?
   1. クリーン化のメリット
   2. どの工程をどのようにクリーン化すればよいのか?
2. (以前の) クリーンルームとは?
   1. 半導体のクリーンルームとそうでないクリーンルームの差 (動画)
   2. 清浄度と設計
3. 粗大粒子とは?
   1. 挙動、特徴、対策 (動画)
4. 見える化について
   1. ツールの紹介
   2. 定量化
   3. FA (自動化) 工程における見える化 (デモ機)
5. 粗大粒子の発生と対策
   1. 作業員の動作と発塵
6. 粗大粒子の持ち込みと対策
   1. PCなどの付着持込み対策
7. なぜ、異物は付着するのか? 除去は可能か?
   1. 付着のメカニズム 除去のメカニズム
8. 静電気付着と対策
   1. 付着対策はESD対策とは違う
   2. 静電気対策の一覧と評価
9. クリーン化の進め方
   1. クリーン化推進の6つの要素
   2. クリーン化の6S
10. クリーンルームの清掃
    1. 清掃ツールの評価
11. クリーンルームウエアについて
    1. エアシャワーの効果と問題点
    2. 粗大粒子とタンブリング試験
    3. クリーンクリーニング
12. 終わりに
• 質疑応答