フィルムのドライコーティング技術 徹底解説

スマートフォン、太陽電池、リチウムイオン電池に代表されるフレキシブルエレクトロニクスにおいては、さらなる性能追求や生産性の向上が求められています。特に、アウトガスなどフィルム基材で配慮すべき課題と対策指針を明確化するためには、プロセスの原理原則をできるだけ定量的に把握しておくことが有効です。 　本セミナーでは、タッチパネルや太陽電池などで広く使われているロール・ツー・ロールスパッタを中心に、生産プロセスで起きている現象について解説いたします。

1. ドライコーティングのメリット
   1. 機能性材料のコーティング
   2. 耐環境性
   3. 新規材料の創製
2. ロール・ツー・ロールドライコーティングの課題
   1. コスト
   2. ロール基材のアウトガス
   3. 基材の熱負け
   4. 静電気
3. スパッタプロセスの定性的説明
   1. 選ばれる理由
   2. 低温成膜
   3. 反応性
4. スパッタプロセスの定量的説明
   1. スパッタ粒子密度の把握
   2. アウトガスの影響
   3. 反跳アルゴンによるダメージ
   4. 電力効率
5. アウトガス対策
   1. ヒーター加熱
   2. プラズマ処理
   3. その他
6. 合金および化合物のスパッタ
   1. ターゲット組成と膜組成
   2. 反応性スパッタ
   3. プラズマによる反応支援
7. CVDの特徴
   1. 蒸着及びスパッタとの比較
   2. 事例紹介
   3. 課題と期待
8. 新たな可能性
   1. 新材料
   2. 複合プロセス
   3. 大気圧ドライプロセス