本セミナーでは、薄膜の物性や挙動、トラブルの防止・解決、上手な密着性評価の方法・工夫、試験条件の設定・破壊モードの再現まで、複雑な「薄膜」の性質を徹底解説いたします。
本講では、薄膜の力学的性質、密着性に関連して、薄膜の構造・内部応力・硬さのもたらす効果を解説します。また、それら特性の測定法および製膜時の調整技術を紹介します。 特に、薄膜の密着性評価は、基本的に破壊試験であって刺激の与え方によって結果が異なること、目的や膜厚などによって適切な条件を選ぶ必要のあることを実施例をもとに説明します。内容は基礎から解説しますが、PVD製膜の製造や測定で多少の問題意識を持った方、とくにスクラッチ試験 (あるいはマイクロトライボ試験) の実務経験のある方に役立つ内容を紹介する予定です。 なお、初心者には、事前あるいは講義後に力学的性質および密着性の基礎について相談に応じます。