本セミナーでは、アーク放電や高周波放電等による熱プラズマ、およびグロー放電等の大気圧非平衡プラズマの発生方法の原理、それぞれのプラズマの特性、プラズマ物性、プラズマの計測方法などのプロセッシングの基礎から解説し、さらにナノ粒子を合成するためのプロセスの最新の研究動向およびプロセスの原理を紹介いたします。
ナノ粒子やナノチューブの合成をはじめとして、プラズマを用いる材料プロセッシングの研究が産学ともに活発である。これらのプロセッシングに用いられるプラズマのうち、大気圧で発生する熱プラズマと非平衡プラズマに注目し、プラズマの発生方法や特徴を把握するための基礎知識に関する解説を行う。これらの知識は、各種のプロセスにおける要求内容に応じて、適切な種類のプラズマとそのプロセス条件を決定するために大切である。