研磨加工技術の基礎と最新動向

研磨加工は、製品の高付加価値を実現する重要な最終仕上げのための加工技術です。研磨技術は三種の神器に象徴されるように、人類が営みを始めて以来の伝統的な加工技術であることから、工学的な体系化よりも工業的な実践が優先されて進化してきました。このため、工学的に見直すと、多々問題点があることが分かってきています。例えば、現在多用されている研磨パッドには、多孔質タイプ、不織布タイプ、スエードタイプなどいくつかの種類があるのですが、研磨パッドの材質の主流はいずれもウレタン樹脂です。ウレタン樹脂は耐水性に優れるため、現在主流となっている水系のスラリーとは親和性が悪く、そのため研磨性能を落としています。水系スラリーとの親和性という点では、粗研磨工具の鋳鉄ラップも同様です。

1. 研磨加工技術の基礎
   1. ラッピングとポリシング
   2. 工具と砥粒
   3. 研磨機械
   4. 終点検知技術
2. 自動化のための固定砥粒研磨技術
   1. 従来の固定砥粒研磨技術
   2. 高仕上げ面粗さの達成技術
   3. 化学的作用の付加技術
   4. 目づまり防止技術
3. 高精度化のためのマルチBODY研磨技術
   1. 複合粒子研磨法の特徴
   2. 複合粒子研磨法による高精度化技術
   3. 複合砥粒の特徴
   4. 複合砥粒による高精度化技術
4. 高性能化のための研磨工具と研磨材
   1. 砥粒の滞留性を改善した研磨パッド
   2. 砥粒の滞留性を改善したラップ工具
   3. 砥粒の滞留性を改善した研磨材