クリーンルームの基礎を総おさらい

クリーン化技術に携わる、初級から中級までの全ての方々を対象に,基礎～中級までの内容を解説します。理論のほか、実験・実測・経験に基づいて、分かりやすく説明します。また、例題も用い、具体例・図・表・写真も多く示します。専門用語は進行に伴い随時説明します。

内容の柱は以下の4つとなります。

• 発塵の原因
• 作業員管理・教育
• 清掃
• クリーンルームの適正な状態の維持・管理 (汚染対策)

1. クリーンルームの基礎
   1. 清浄度のイメージをつかむ
   2. 種類・形式・変遷
2. クリーンルーム内の汚染物質 [塵埃]
   1. 塵埃の性質
      1. 気流との関係、拡散範囲
      2. [演習]空気中での微小粒子の移動
      3. クリーンルームでの、瞬時/連続・点発塵による塵埃拡散 (汚染範囲)
   2. 人・物からの発塵
      1. 拡散範囲、内圧変動、摺動発塵
      2. 製品と人と製造装置の位置関係
      3. 衣類の摺動による発塵
      4. 人からの発塵
3. クリーンルーム内の作業員管理と教育
   1. クリーンルームの4原則
   2. クリーンスーツ着衣人体からの発塵機構
      1. クリーン手袋からの発塵
      2. クリーンスーツ内の圧力変動
      3. クリーンスーツを通しての発塵
      4. [演習]人体からの塵埃拡散範囲
   3. 人の位置取り・適正な動作について
   4. クリーンスーツの選定、洗濯頻度
      1. クリーンスーツ選定の要件
      2. クリーンスーツのフィルタ効率と運動発塵量との関係
      3. クリーンスーツの劣化
   5. クリーン手袋は上か下か?
   6. エアシャワーの効果
4. さらなる清浄化への指針 (対策)
   1. 微小塵埃/ミスト/気流を把握 → そして対策へ
   2. 普遍的な対策コンセプト
   3. 除去/抑制の手順と考え方
5. クリーンルームの清掃
   1. 清掃の種類と方法
   2. 各部位の清掃方法・頻度、特定表面の清掃
   3. 注意点
6. クリーンルームの国内外関連規格の最新動向
   1. ISO規格、IS規格、JACA指針など
7. 参考文献紹介 (初級～上級まで、主要なものを表紙画像と内容も含め紹介)
• 質疑応答