クリーン化プロセスにおける気流室圧、湿度コントロールとコンタミ対策・静電気対策

第1部 クリーン化プロセスにおける コンタミ発生原因と対策　気流や微粒子挙動の理解から応用まで

(2015年6月9日 11:00〜13:00)

　クリーンルームの汚染制御では粒子状、分子状の汚染物質を対象とする が、それぞれの空気中あるいは表面近傍における物理的挙動は大きく異な る。クリーンルームの汚染制御を実現するためには、これら汚染物質の挙動 を正しく理解し、適切な対策を行うことが重要である。 ここでは、クリーンル ームを扱うすべての技術者が理解しておくべき汚染物質挙動の基礎を整理 し、わかりやすく解説する。また数値シミュレーションを応用した汚染対策事 例などを紹介する。

1. クリーンルームの清浄度クラス
   1. JIS,ISOによる清浄度評価
   2. UCLと逐次検定法
2. 粒子状汚染物質の挙動
   1. 微粒子の測定方法
   2. 空気中浮遊微粒子の挙動
   3. 表面沈着と静電気の影響
3. 分子状汚染物質の挙動
   1. 分子状汚染物質と製品不良
   2. 分子汚染の分析・評価および対策
4. クリーンルーム内の気流の制御
   1. 気流の可視化と測定
   2. 気流対策
   3. 室圧と気流
5. 数値シミュレーションによる現象予測と汚染対策事例
• 質疑応答

第2部 ドライフォグ,加湿技術などの 湿度調整による静電気対策と応用

(2015年6月9日 13:15〜14:45)

　近年,IT関連市場の発展はめざましく各種電子デバイスの性能は飛躍的 に向上し,歩留りや信頼性向上のためには静電気放電 (ESD) に対する対策 が重要となっている。このような状況下では,従来の除電技術だけに頼るの ではなく,静電気を 発生させない対策が重要であり,“湿度調整により静電 気を発生させない環境に改善 する“ことへの関心が高まっている。

1. 静電気発生と湿度環境の関係
2. クリーンルーム系統の空調システムと加湿方式の種類と特徴
   1. 空調システムによるクリーンルームの分類
   2. 加湿方式の種類と各加湿器の特徴
   3. ドライフォグ噴霧方式と蒸気噴霧方式の特性比較
3. ドライフォグ加湿システム導入による静電気予防事例の紹介
   1. エレクトロニクス分野を含めた設置事例紹介
   2. 湿度環境改善結果と静電気発生予防の効果
4. その他
   1. ドライフォグ加湿による冷却効果 (省エネルギー化) の検討事例
   2. 各産業における静電気対策の予防事例
   3. 健康管理・室内環境 (IAQ) など
• 質疑応答