スクリーン印刷によるMEMSセンサの作製技術

最先端のステンレスメッシュとスクリーン印刷技術～スクリーン印刷によるMEMSデバイス製造～

(2015年5月25日 13:00〜14:30)

1. ステンレスメッシュの開発の歴史とスクリーン印刷技術の進歩の関わり
2. スクリーンメッシュの種類と主な用途
3. スクリーンメッシュの主な役割
   1. パターン形成の支持体
   2. スクリーン張力の付与
   3. 印刷膜厚の制御
   4. ペーストの吐出抑制
4. スクリーン印刷の標準技術 ASADA標準の紹介
   1. スクリーンメッシュの選定について
   2. スクリーン製版について
   3. 印刷条件の設定について
5. スクリーン印刷の課題とその克服方法
   1. なぜスクリーンメッシュ強度が重要か ～超高強度HS-Dメッシュは高粘弾性インクも容易に版離れ～
   2. PEの製品化へ最も有効な印刷方式 ～超高粘弾性インク」に最適なスクリーン印刷の真価～
   3. 最新スクリーン印刷技術の真価 ～HS-Dメッシュによる最先端スクリーン印刷技術事例～
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スクリーン印刷技術によるフレキシブル電流センサの開発

(2015年5月25日 14:45〜16:15)

世界規模での省エネルギーが必要となっている現在、電力消費量をモニタリングするための電力センサの需要が高まっているが、そのサイズは最小のものでも2cm角程度の立方形状であり、他の機器等も混在しスペースの制約が多い条件下 (例えば各家庭の受配電設備内等) で、すべての電線にセンサを敷設することは難しい。そこで、高スループットな製造プロセスであるスクリーン印刷技術を用いて、フィルム材料と導電性ペーストによる高いフレキシブル性を備えたフィルム型のクランプ式電流センサを開発した。従来の電流センサと比較して圧倒的な小型化に成功し、電線への取り付けも容易であり、バッテリーレス無線センサネットワークシステムへの応用も期待されている。

1. 研究背景
   1. 省エネ社会へ向けての電流センサの意義
   2. 既存の電流センサの問題点
2. フィルム型フレキシブルクランプ式電流センサの開発
   1. めっきとフォトリソグラフィ技術によるセンサの設計・試作
   2. スクリーン印刷技術を用いたセンサの設計・試作
   3. スクリーン印刷とフォトリソグラフィ技術を用いたセンサの設計・試作
   4. ワンタッチクランプ構造の設計・試作
3. 開発した電流センサの特性評価
   1. クランプ形態の違いによる特性評価
   2. 中・高電流域での特性評価
   3. 実用化に向けた製造プロセスの検討
4. 無線センサネットワークシステムへの応用
   1. バッテリーレス無線センサネットワークシステムの構築
   2. 受配電設備内の電線に取り付けての実証試験
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