第1部 ロールtoロールにおける欠陥発生, 品質不良とその対策
(2015年5月28日 10:30〜12:30)
ロールtoロールプロセスは長尺・広幅のプラスチックフィルムの上に機能性薄膜を形成 するプロセスである。大面積基板のハンドリングに基づく欠陥発生や品質不良、薄膜の品質不良の原因 とその具体的対策について解説する。
- ロール to ロールプロセス開発のポイントと問題点
- フィルム基板上の薄膜形成
- ドライプロセスによる膜形成 (発生,輸送,形成)
- 膜形成のプロセスと基本パラメタ制御
- 大面積基板への拡張
- ロール to ロール成膜要素技術
- 巾方向・流れ方向の膜厚,組成,構造の均一性制御
- 基板への熱流解析
- 成膜中のフィルム挙動,熱負け制御
- フィルムのカール・シワ
- 付着力の改善
- ロール to ロール成膜装置・製造要素技術
- 成膜シミュレーション技術
- カソードおよびターゲット設計
- 成膜速度の限界,コスト,収率
- 薄膜形成の厚みの限界
- 欠陥 (膜外観や膜無し部分) の発生対策
第2部 (ロール to ロールプロセスにも共通する) 巻き出し蛇行制御の基礎と 蛇行制御の最新動向
(2015年5月28日 13:15〜14:45)
- 巻き出し蛇行制御理論の基礎
- 蛇行修正におけるロール間フィルター効果
- コンピュータシミュレーション
- 制御特性の算出方法
- 蛇行制御の最新動向
- 真空対応
- フィルムの薄膜化
- EPC、LFC、CPCにつづく第4番目の蛇行制御方法DPC (印刷絵柄での蛇行制御)
第3部 ロールtoロールにおける テンション制御について
(2015年5月28日 15:00〜16:30)
ロールtoロールプロセスにも共通する,テンション制御を理解するためにはテンションの 発生原理を理解し、それらをどのように制御するのが良いのか,またどのようなアクチュエータやセンサを 使って制御したら良いかを理解し,実務に応用する際のポイントを学ぶ。
- テンション制御の物理学
- 回転体の物理学
- トルクとは?
- トルクとテンションの関係
- イナーシャとトルク
- 作用と反作用の力
- テンション制御方式とその特長
- 巻材料の運動とトルク
- トルク制御と速度制御
- トルク制御の特徴
- トルク制御方式
- トルク制御のアクチェータ
- 手動制御
- オープンループ制御
- フィードバック制御
- 速度制御の特徴
- 速度制御方式
- 速度制御用アクチェータ
- ウェイトダンサー式速度制御
- ドロー式速度制御
- テンション検出方式
- テンション検出器
- スプリングダンサロール機構
- テンション制御機械の設計ポイント
- 摩擦を侮るな
- イナーシャを考えろ