「ロール to ロール」プロセスにおける蛇行・テンション制御、トラブル対策

第1部 ロールtoロールにおける欠陥発生, 品質不良とその対策

(2015年5月28日 10:30〜12:30)

ロールtoロールプロセスは長尺・広幅のプラスチックフィルムの上に機能性薄膜を形成 するプロセスである。大面積基板のハンドリングに基づく欠陥発生や品質不良、薄膜の品質不良の原因 とその具体的対策について解説する。

1. ロール to ロールプロセス開発のポイントと問題点
   1. フィルム基板上の薄膜形成
   2. ドライプロセスによる膜形成 (発生,輸送,形成)
   3. 膜形成のプロセスと基本パラメタ制御
   4. 大面積基板への拡張
2. ロール to ロール成膜要素技術
   1. 巾方向・流れ方向の膜厚,組成,構造の均一性制御
   2. 基板への熱流解析
   3. 成膜中のフィルム挙動,熱負け制御
   4. フィルムのカール・シワ
   5. 付着力の改善
3. ロール to ロール成膜装置・製造要素技術
   1. 成膜シミュレーション技術
   2. カソードおよびターゲット設計
   3. 成膜速度の限界,コスト,収率
   4. 薄膜形成の厚みの限界
   5. 欠陥 (膜外観や膜無し部分) の発生対策
• 質疑応答

第2部 (ロール to ロールプロセスにも共通する) 巻き出し蛇行制御の基礎と 蛇行制御の最新動向

(2015年5月28日 13:15〜14:45)

1. 巻き出し蛇行制御理論の基礎
   1. 蛇行修正におけるロール間フィルター効果
   2. コンピュータシミュレーション
   3. 制御特性の算出方法
2. 蛇行制御の最新動向
   1. 真空対応
   2. フィルムの薄膜化
   3. EPC、LFC、CPCにつづく第4番目の蛇行制御方法DPC (印刷絵柄での蛇行制御)
• 質疑応答

第3部 ロールtoロールにおける テンション制御について

(2015年5月28日 15:00〜16:30)

ロールtoロールプロセスにも共通する,テンション制御を理解するためにはテンションの 発生原理を理解し、それらをどのように制御するのが良いのか,またどのようなアクチュエータやセンサを 使って制御したら良いかを理解し,実務に応用する際のポイントを学ぶ。

1. テンション制御の物理学
   1. 回転体の物理学
   2. トルクとは?
   3. トルクとテンションの関係
   4. イナーシャとトルク
   5. 作用と反作用の力
2. テンション制御方式とその特長
   1. 巻材料の運動とトルク
   2. トルク制御と速度制御
   3. トルク制御の特徴
   4. トルク制御方式
      1. トルク制御のアクチェータ
      2. 手動制御
      3. オープンループ制御
      4. フィードバック制御
   5. 速度制御の特徴
   6. 速度制御方式
      1. 速度制御用アクチェータ
      2. ウェイトダンサー式速度制御
      3. ドロー式速度制御
3. テンション検出方式
   1. テンション検出器
   2. スプリングダンサロール機構
4. テンション制御機械の設計ポイント
   1. 摩擦を侮るな
   2. イナーシャを考えろ
• 質疑応答