本セミナーでは、圧電薄膜技術とその測定技術に関する基礎的な内容を中心に、振動発電等の圧電MEMSデバイスに関する研究開発の現状を詳解いたします。
日時
- 2015年4月20日 13時00分〜 2015年4月20日 16時30分
中止
プログラム
圧電体を薄膜化し、MEMSデバイスへ応用する圧電MEMSが新しい機能性マイクロデバイス技術として注目されています。圧電薄膜の材料技術とMEMSの設計、加工技術を組み合わせた融合領域であり、関連技術分野を体系的に理解するために、特に薄膜材料、薄膜作製とその評価技術が基礎となります。現在、インクジェットヘッドやジャイロセンサへの実用化の他、圧電振動発電技術等の新しい応用分野に関する検討も進められており、圧電MEMS技術に対する期待は今後益々大きくなってくると予想されます。これまで日本国内の企業が材料、プロセス、デバイス開発において優位性を保っていましたが、現在欧米、またアジア諸国においても関連技術の研究開発が重点的に進められており、開発競争も今後更に加速されると予想されます。
- 圧電薄膜材料とMEMS
- MEMSにおける圧電MEMS
- 圧電材料の基礎
- 圧電薄膜作製技術
- 圧電特性評価と圧電MEMSデバイス
- 圧電性の表記
- 片持ち梁による薄膜の圧電特性解析
- 圧電薄膜を用いた振動発電技術
- 圧電MEMS技術の今後の展開・まとめ
- 質疑応答
会場
受講料
- 1名様: 38,000円(税別) / 41,800円(税込)
- 複数名: 20,000円(税別) / 22,000円(税込)
複数名同時受講の割引特典について
- 2名様以上でお申込みの場合、
1名あたり 20,000円(税別) / 21,600円(税込) で受講いただけます。- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 38,000円(税別) / 41,040円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 43,200円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 64,800円(税込)
- 受講者全員が会員登録をしていただいた場合に限ります。
- 同一法人内(グループ会社でも可)による複数名同時申込みのみ適用いたします。
- 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
- 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
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