本セミナーでは、圧電薄膜技術とその測定技術に関する基礎的な内容を中心に、振動発電等の圧電MEMSデバイスに関する研究開発の現状を詳解いたします。
圧電体を薄膜化し、MEMSデバイスへ応用する圧電MEMSが新しい機能性マイクロデバイス技術として注目されています。圧電薄膜の材料技術とMEMSの設計、加工技術を組み合わせた融合領域であり、関連技術分野を体系的に理解するために、特に薄膜材料、薄膜作製とその評価技術が基礎となります。現在、インクジェットヘッドやジャイロセンサへの実用化の他、圧電振動発電技術等の新しい応用分野に関する検討も進められており、圧電MEMS技術に対する期待は今後益々大きくなってくると予想されます。これまで日本国内の企業が材料、プロセス、デバイス開発において優位性を保っていましたが、現在欧米、またアジア諸国においても関連技術の研究開発が重点的に進められており、開発競争も今後更に加速されると予想されます。