第1部 洗浄工程管理のポイント・洗浄剤濃度管理とコンタミ管理
(2015年4月9日 10:30〜12:00)
洗浄ラインを安定して運用するには、使用する洗浄剤・洗浄装置と同様に、洗浄工程の管理が性能を左右する。工程管理の一環として洗浄液濃度や液中のコンタミをどのようにモニタリング・調整するかを説明する。
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- 事前試験によるデータ取り
- 洗浄性向上・バスライフ延長
- 洗浄液パラメータ調整
- 工程・装置上の工夫
第2部 洗浄後に残る残存汚れの定量評価方法と評価事例
(2015年4月9日 12:45〜14:15)
第3部 パーティクルカウンタによる洗浄プロセスの管理・評価
(2015年4月9日 14:30〜16:00)
- 洗浄プロセスにおける液中ナノ粒子測定
- パーティクルカウンタによる洗浄プロセスの管理評価
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- 液中パーティクルカウンタに関わる規格関係
- ISO/ISO
- SEMI規格
- 粒子脱離法による洗浄度評価手法
- 洗浄プロセスにおける粒子測定
- 測定試料のサンプリング方法
- サンプリング測定における課題と対応
- 測定例と測定結果の評価