高精密位置決めの基礎と応用

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プログラム

  1. 位置決め制御で使用する制御理論
    1. 位置決めシステムの構成要素
    2. 古典制御と現代制御の対比
  2. リニアスライダの位置決め事例
    1. 位置決め高速化のためのモデルマッチング制御
    2. バラツキ抑制のためのロバスト2自由度制御
    3. フィードフォワード補償自動生成のためのフィードバック誤差学習制御の実装
    4. フィードフォワード補償自動生成のためのPSOの実装
  3. 静圧ステージの位置決め調整事例
    1. PID制御の実装とその調整
    2. 定盤加速度フィードバックの実装
  4. 空圧ステージの位置決め事例
    1. PDD2制御の実装
    2. デュアル外乱オブザーバの実装
    3. ばらつき抑性のためのモデル追従制御の実装
    4. ベースプレートジャークフィードバックの実装
    5. 高速化のためのステージジャークフィードバックの実装
  5. 超音波モータの位置決め事例
    1. 超音波モータによる位置決めの特徴
    2. 切替え制御の実装
    3. Bang-Bang制御の実装
  6. 真空ゲートバルブの位置決め事例
    1. 位置決めのためのPI-D制御の実装
    2. 精度向上のための切替え制御の実装
  7. 振動環境制御のための空圧式除振装置
    1. 空圧式除振装置の役割
    2. 除振率向上のための機械的・電気的取り組み
    3. 低固有値化のための空気ばね剛性キャンセル制御の実装
    4. 配管の無駄時間補償のためのスミス法の実装
    5. 流量外乱抑制のための繰り返し制御の実装
    6. 多重制御による弊害 ～地震動に対する影響～
  8. 超精密位置決めの産業応用での取り組み
    1. 超精密位置決めのための考え方
    2. 超精密位置決めのための環境制御の重要性

会場

株式会社オーム社 オームセミナー室
101-8460 東京都 千代田区 神田錦町3-1
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