大気圧プラズマの基礎と表面処理、医療、環境、分析応用の進展

大気圧プラズマは真空容器や排気設備を必要とせず,また高密度な活性種を生成できるため,産業応用には多くのメリットがあります。 　このため,材料表面の親水化処理,接着性の向上等の分野で急速に利用され始めています。学術的にも,IEEEの国際会議では2005年までは1%以下だった大気圧プラズマの発表件数が,現在では25%以上までに増えています。 　しかし,プラズマの理解は容易ではなく,またプラズマの発生や利用法についてはブラックボックスな部分が多いため,装置利用への敷居が高いのもまた事実です。 　そこで本セミナーでは,大気圧プラズマの基礎をわかりやすく解説するとともに,最新の大気圧プラズマ装置と表面処理,医療,環境浄化,分析等への最先端の応用例をご紹介します。

1. 大気圧プラズマ
   1. なぜ大気圧プラズマ?
   2. 大気圧プラズマの生成法
2. プラズマの基礎
   1. プラズマ中では何が起こっているか
   2. プラズマの基礎特性と計測
3. 新しい大気圧高温プラズマと応用
   1. 大気圧高純度マルチガスプラズマ
   2. 地球温暖化ガスの分解
   3. 半導体プロセシング
4. 新しい大気圧低温プラズマ
   1. さわれるプラズマ
   2. マルチガスプラズマジェット
   3. リニア型ダメージフリープラズマ
5. 大気圧低温プラズマの応用
   1. 高速親水化処理・クリーニング
   2. 表面コーティング
   3. 金属酸化膜の超高速還元
   4. 表面付着物分析
   5. 化学物質の分解処理
   6. 殺菌,医療分野への応用
   7. プラズマ処理水を用いた殺菌処理
6. その他の新しい大気圧プラズマ装置
7. 大気圧プラズマの近未来展望

• 質疑応答