ミニマルファブ構想による半導体技術の最新動向・周辺技術と今後求められる技術

近年の半導体産業では、ファブのコストが5千億円にも達し、それに見合う巨大な市場を確保できず、その資金調達も困難となり、ほとんどのデバイス企業が赤字という負け組に追いやられてしまった。その弊害として、少量のデバイスは、事実上製造できないか、数桁も高い製造コストがかかってしまう問題が顕在化している。 　少量ユーザは、品種毎には小さな存在だが、多品種少量マーケット全体では、大量生産マーケットに匹敵する規模を持っている。この多品種少量デバイスに適した生産システムがミニマルファブである。ミニマルファブが実現すると、ユーザの求めに応じて、1個ずつデバイスを製造することができるようになる。 　その実現へ向けて、我々はミニマル製造装置群の開発を進めている。すでに、リソグラフィの主要装置群のプロトタイプが完成した段階にあり、クリーンルーム無しでトランジスタを実際に製造できるレベルに到達している。一部実用化されている装置群は、すでに販売を開始している。 　本講演では、ミニマルファブ構想について、構想が生まれた経緯から、概念、ビジネスモデル、研究開発、ロードマップ、そして開発の現状、そしてビジネスモデルまで、その詳細を詳述する。

1. はじめに
2. 半導体産業の経済的分析
   1. 統計経済的分析
   2. 技術的分析と蓄積したムダ
   3. 全世界のファブ統計とその傾向
3. ミニマルファブ構想・コンセプト
   1. 多品種少量でいかにして儲けるか?
   2. ミニマルファブ構想とは
   3. 過去のトライアルから学ぶべき事
   4. 生産性と経済性
4. 産総研コンソーシアム・ファブシステム研究会とミニマルファブ技術研究組合
   1. 目的
   2. 体制
   3. 参加者
   4. 活動内容
5. 開発概要
   1. 開発の指針
   2. コア技術
   3. 知財・ブランド戦略
   4. ミニマルロードマップ
6. ミニマルファブによる新しいビジネスモデル
   1. 装置販売ソリューションビジネス
   2. メインテナンスビジネス
   3. ファブレクチャービジネス
   4. 薬液供給ビジネス (ヤクルトおばさんビジネス)
   5. 有料プロセス販売ビジネス
   6. 回路IP販売ビジネス
   7. 製品事業部でのミニマルファブ
   8. その他の新しいビジネス
7. コア技術:局所クリーン化生産システム
   1. 局所クリーン化生産システムの概念
   2. 300mm先端半導体ファブの実例
   3. 産総研のガス遮断型システム
8. 開発の現状
   1. 局所クリーン化搬送システム
   2. 個別開発の現状
      • ミニマル洗浄装置
      • ミニマル塗布・現像装置
      • ミニマルマスクレス露光装置
      • ミニマルマスクアライナー
      • ミニマルプラズマエッチャー
      • ミニマルスパッタ
      • ミニマルウェットレジストリムーバー
      • ミニマル酸化炉
      • ミニマル加熱炉
      • ミニマル拡散炉
      • ミニマルCVD
      • ミニマルイオン注入
      • ミニマル後工程装置群
      • ハーフインチウェハ
      • ミニマルEDAツール
   3. デバイス開発の現状
      • ミニマルとメガのハイブリッドプロセス
      • フルミニマルプロセス
   4. 今後の展開
   5. まとめ
• 質疑応答・名刺交換