本講では、薄膜の構造、力学的性質、密着性に関連して、薄膜の内部応力や硬さのもたらす効果、その調整技術および測定技術を解説し、応用例として、薄膜の密着性評価を紹介し、密着性改善技術に言及する。
またマイクロスクラッチ試験 (あるいはマイクロトライボ試験) の原理と実施例を解説する。初心者から実務者まで対応します。
- 薄膜の力学的特性
- 応力とひずみの関係 ~固体薄膜の力学
- 熱応力と真性応力
- 測定 ~基板変形および格子ひずみ測定
- 最近の薄膜X線回折技術 ~in line 測定
- ひずみエネルギーと結晶配向
- 内部応力の制御
- 構造欠陥と硬さ ~弾性変形と塑性変形
- 超微小硬さ測定
- 硬さと耐腐食性:ハードコーティング
- 薄膜の密着性
- 耐久性・寿命としての密着性
- 薄膜における損傷
- 各種の密着性測定法の長所・短所
- 故障解析からの密着性評価
- 故障・剥離とワイブル分布
- 内部応力と密着性
- 異種材料の密着性
- 製膜技術と密着性 ~特にプラズマ援用技術
- スクラッチ (引っ掻き) 試験とは?
- 定荷重および荷重増加型スクラッチ試験
- 剥離,摩擦力変化あるいはAE発生
- 試験条件と臨界荷重
- 臨界せん断応力
- 薄膜/基板の界面エネルギー
- スクラッチの物理と破壊力学
- スクラッチ試験の注意点 (結果が逆転!)
- マイクロスクラッチ試験
- 振動式スクラッチ試験の動作原理
- 光学薄膜とスクラッチ試験 JIS R3255
- スクラッチ速度による違い
- 針先端径による影響 ~Weibull分布
- 密着性試験の再現性
- 他の密着性試験との相関 ~臨界損傷の違い
- 軟質膜および粘性膜への応用