薄膜の内部応力発生メカニズムと密着性制御およびその評価手法

本講では、薄膜の構造、力学的性質、密着性に関連して、薄膜の内部応力や硬さのもたらす効果、その調整技術および測定技術を解説し、応用例として、薄膜の密着性評価を紹介し、密着性改善技術に言及する。 　またマイクロスクラッチ試験 (あるいはマイクロトライボ試験) の原理と実施例を解説する。初心者から実務者まで対応します。

1. 薄膜の力学的特性
   1. 応力とひずみの関係 ～固体薄膜の力学
   2. 熱応力と真性応力
   3. 測定 ～基板変形および格子ひずみ測定
   4. 最近の薄膜X線回折技術 ～in line 測定
   5. ひずみエネルギーと結晶配向
   6. 内部応力の制御
   7. 構造欠陥と硬さ ～弾性変形と塑性変形
   8. 超微小硬さ測定
   9. 硬さと耐腐食性:ハードコーティング
2. 薄膜の密着性
   1. 耐久性・寿命としての密着性
   2. 薄膜における損傷
   3. 各種の密着性測定法の長所・短所
   4. 故障解析からの密着性評価
   5. 故障・剥離とワイブル分布
   6. 内部応力と密着性
   7. 異種材料の密着性
   8. 製膜技術と密着性 ～特にプラズマ援用技術
3. スクラッチ (引っ掻き) 試験とは?
   1. 定荷重および荷重増加型スクラッチ試験
   2. 剥離,摩擦力変化あるいはAE発生
   3. 試験条件と臨界荷重
   4. 臨界せん断応力
   5. 薄膜/基板の界面エネルギー
   6. スクラッチの物理と破壊力学
   7. スクラッチ試験の注意点 (結果が逆転!)
4. マイクロスクラッチ試験
   1. 振動式スクラッチ試験の動作原理
   2. 光学薄膜とスクラッチ試験 JIS R3255
   3. スクラッチ速度による違い
   4. 針先端径による影響 ～Weibull分布
   5. 密着性試験の再現性
   6. 他の密着性試験との相関 ～臨界損傷の違い
   7. 軟質膜および粘性膜への応用
• 質疑応答・名刺交換