表面・微小部・深さ方向の分析と目的に応じた最適方法および正しいデータ解析

多くの進化した工業材料や機能素子はミクロン～ナノの表面・微小部の集合体と言える。したがって、これらの材料や素子の開発や故障解析には、表面や微小部を解析する分析法が不可欠である。 　他方、この表面・微小部・深さ方向分析法は非常に多種であり、150種とも200種とも言われる。したがって、適切な手法の選択と適切な利用には多くの困難さがあり、羅列的な知識では対応できない。 　多くの分析法に用いられる「荷電粒子」や「電磁波」の性質を正しく理解し、分析法の有効利用とデータに潜む真実・非真実を見抜く力を養う。

1. 表面・微小部・深さ分析で何を知りたいか? 何が分かるか?
2. 表面・微小部・深さ方向の分析法
   1. 電子の振る舞いと試料との相互作用
   2. イオンの振る舞いと試料との相互作用
   3. X線の振る舞いと試料との相互作用
   4. さまざまな分析法
3. 特に汎用性のある分析法の特徴と比較
   1. SEM-EDX、EPMA、AES、SIMS、XPSの特徴と比較
   2. 様々な分析法の特徴と比較
   3. 分析法比較の注意と落とし穴!
4. 試料前処理の注意!
   1. 分析対象の維持と試料保管中・試料作成中の汚染対策
   2. 真空と表面
5. スペクトルの意味するもの!
   1. 電子スペクトルの特徴と注意
   2. イオンスペクトルの特徴と注意
   3. X線スペクトルの特徴と注意
6. 空間分解能
   1. 空間分解能とは? その重要性!
   2. 空間分解能は何によって決まり、どのように分析データに反映するか?
   3. 走査像の分解能
   4. 様々な事例
   5. 空間分解能の落とし穴!
7. 先端分析技術 特にナノ分析について
   1. 電子・イオン・X線によるナノ分析の可能性
   2. X線による最先端ナノ解析の紹介
• 質疑応答・名刺交換