ロール・ツー・ロール製造プロセス構築の要点と運用時のトラブル対策

要求される性能と耐久性を満足する枚葉での開発結果を、ロールtoロール方式に拡張する場合、単なるスケールアップだけでなくロール状のプラスチック フィルムを使用することによる装置やプロセスなどに大きな課題に直面する。これらの課題は実務経験の科学的分析を通して普遍的な知識として体系化すること により克服できるものと考えるが、現時点では現場のノウハウや暗黙知により行われることが多い。 　本セミナーにおいては、ロールtoロール方式による機能性フィルムの研究から生産にいたる技術開発、現場における製造管理など30数年におよぶ経験に基づく知見を整理・分析することで、ロール・ツー・ロールの概要、導入のメリット・デメリット等の基礎的な事項から、ロール・ツー・ロールによるスケールアップの考え方、実際に製造プロセスを構築していくうえでの注意点、また運用している際に生じやすいトラブルとその対策等,本分野の課題と解決の手がかりを解説する。

1. プラスチックへの成膜技術
   1. プラスチックへの成膜技術が拓く世界
   2. プラスチックと無機材料
   3. プラスチック基板への成膜技術～成膜法の種類と特徴・長所/短所
      1. ドライコーティング
      2. ウェットコーティング
2. ロール・ツー・ロールの概要
   1. ロール・ツー・ロールによる成膜とは
   2. ロール・ツー・ロールのメリット、デメリット
3. ロール・ツー・ロールプロセス構築の要点と問題点
   1. ロール・ツー・ロールプロセスの構築の要点
   2. 膜形成プロセスと基本パラメタ制御
   3. 大面積基板への拡張
   4. 付着力の改善
4. ロール・ツー・ロール成膜要素技術
   1. 巾方向・流れ方向の膜厚、組成、構造の均一性制御
   2. 基板への熱流解析
   3. 成膜中のフィルム挙動,熱負け制御
5. ロール・ツー・ロールプロセス運用時のトラブル対策
   1. 成膜シミュレーション技術
   2. カソードおよびターゲット設計
   3. 成膜速度の限界、コスト、収率
   4. 欠陥 (膜外観や膜無し部分) の発生対策
   5. インライン測定による検査
• 質疑応答