作業員が納得するクリーンルーム管理

クリーンルームの問題は今や微粒子から10～100μmレベルの粗大粒子へと移りつつあります。粒子が大きくなったからといって問題解決は容易になるわけではありません。粗大粒子独自の挙動を知らなければ、有効な対策はできません。 　本講ではクリーンルーム作業者が納得できるレベルで粗大粒子の対策方法を提案します。実践レベルの知識を多く取り上げ、動画によるわかり易い解説に心がけます。

1. クリーン化の基本～粒子・気流について～
   1. クリーン化技術とニーズ
   2. クリーンルームの設計思想
   3. 対象となる粒子の大きさと挙動について
   4. 気流について
   5. ゴミはどこから来るのか?
   6. 粗大粒子対策が重要
   7. 粒子の見える化
   8. クリーンルームライトの活用
2. 異物の付着と除塵について～大切な製品に異物を付着させないために～
   1. 付着のメカニズム
   2. 作業員からの発塵
   3. 発塵について
   4. 付着持込み対策
   5. 除塵について
   6. 付着させない技術
3. 静電気対策について
   1. 間違いだらけのクリーンルームにおける静電気対策
   2. ESD対策を選べばよいのか? ESA対策を選べばよいのか?
   3. 加湿と静電気対策
   4. イオナイザーの適切な使い方
   5. 除塵と静電気による再付着
4. クリーン化機器について
   1. エアシャワーの効果 (髪の毛・繊維くず・ポリアミド系異物・パーティクル)
   2. エアシャワーで落としたゴミはどこへ行く
   3. エアシャワーと静電気吸着
   4. クリーン化機器の設置事例
   5. 拡散板の効果
   6. 局所クリーン化
5. 作業員からの発塵・対策
   1. クリーンルームの6Sとは?
   2. クリーンウエアとは?
   3. 動きやすさ・快適性の追求と発塵対策
   4. 清掃用具と評価について
   5. クリーン化文化を作ろう (習慣づけ)
6. まとめ