産業洗浄技術の基礎と残存汚れの定量化、評価法

日本の産業界では社会のニーズに応えるため高性能,高機能な新製品を手がける企業が多くなっている。 　そうした製品を生産するプロセスでは構成部品の精密で微細な加工や処理が行なわれるが、その場合製品不良の生ずる大きな原因の一つに加工物表面に存在する各種汚れがある。したがって製品欠陥のもとになる汚れを事前に除去するのに有効な洗浄は、歩留まりを確保する重要なプロセスになっている。 　本講習会は有効な洗浄を構築し、実施できる技術者を育成する目的で洗浄技術の基礎と洗浄結果を評価、確認するのに役立つ汚れの定量法を解説する。

1. 産業洗浄の目的
2. 必要なきれいさとは
3. 汚れの種類と汚染状態の把握
4. 汚れ除去における洗浄剤の役割
5. 洗浄剤の選択の際における制約
6. 洗浄手法
   1. 化学的洗浄作用
      • 湿式溶解
      • 湿式分解
      • 表層エッチング
   2. 物理洗浄作用
      • ブラシ洗浄
      • 噴射洗浄
        • スプレー
        • 二流体
        • 極低温エアロゾル
      • 超音波洗浄
      • マイクロバブル洗浄
      • 光洗浄
        • 紫外光
        • レーザー光
      • プラズマ洗浄
7. 洗浄装置
   1. 一括処理式 (バッチ式) 洗浄装置
   2. 個別処理式 (枚葉式) 洗浄装置
8. リンス技術
9. 乾燥技術
10. 洗浄評価
    1. 簡易表面清浄評価法
    2. 表面付着粒子計測法
    3. 残存汚れの定量法
       • 汚れ試料の採取法
       • 採取試料の定量法
       • 吸光度測定
         • クロマト法
         • 原子吸光法
         • ICP-MS法
       • 洗浄表面直接分析法
       • 電子分光法
         • 全反射蛍光X線分析法
         • 二次イオン質量分析法
• 質疑応答・名刺交換