本セミナーでは大気圧プラズマの発生・計測等に関する基礎を概説した後、大気圧プラズマをカーボンナノチューブ合成、ダイヤモンドライクカーボン合成、微粒子合成、天然ガス改質に応用した例を紹介いたします。
プラズマ科学は、半導体産業が実質的な研究開発を牽引してきました。その基盤技術として、減圧環境で形成される反応性プラズマが発展しましたが、近年、大気圧以上の高密度媒体で形成される非平衡プラズマが大きな注目を集めています。大気圧プラズマの特徴は、高圧気体、超臨界流体、液体、粉体、生体など、プラズマを形成する媒体を選ばない高いフレキシビリティーにあります。大気圧プラズマを用いれば、プラズマが本来有する高い反応性を利用しつつ、省エネルギー、量産性、低コストに対応した革新的プロセス技術を創出することが可能となります。 本セミナーでは大気圧プラズマの発生・計測等に関する基礎を概説した後、大気圧プラズマをカーボンナノチューブ合成、DLC (ダイヤモンドライクカーボン) 合成、微粒子合成、天然ガス改質に応用した例を紹介します。