産業洗浄処理の基礎と洗浄評価手法

高機能・高性能な製品を製造するには、その構成部品の加工や処理工程で欠陥を作らないことが重要である。そのためには加工や処理の欠陥原因となる表面汚れをあらかじめ除去する洗浄処理が不可欠である。
汚れを効果的に除去するには、汚れの実態を正しく把握し、その汚れの除去にふさわしい洗浄剤の選択や、それによる除去作用を効果的に促進する洗浄手法を適用することが重要である。そのためには洗浄剤や洗浄手法について、種類やそれぞれの特徴などの基礎知識を良く理解して、洗浄目的を達成するための的確な選定ができることが望まれる。 　そうした観点から洗浄にかかわる重要な基礎知識について平易に解説する。 　また洗浄効果を判定したり、必要な清浄度を達成したかを確認する洗浄評価の方法について紹介する。

1. 洗浄プロセスの構成要素
2. 汚れの種類と具体例
3. 被洗浄物の形状、素材、表面性状
4. 洗浄剤の種類と特徴
   1. 水系洗浄剤
   2. 準水系洗浄剤
   3. 非水系洗浄剤
5. 洗浄手法の種類と特徴
   1. ウェット洗浄法
      1. バッチ浸漬洗浄
         1. 超音波洗浄
         2. 振動攪拌洗浄
         3. 真空洗浄
         4. マイクロバブル洗浄
      2. 個別処理洗浄
         1. ブラシ洗浄
         2. 噴射洗浄
         3. 二流体噴射洗浄
         4. スピン洗浄
   2. ドライ洗浄
      1. 紫外光洗浄
      2. 大気圧プラズマ洗浄
      3. エキシマパルスレーザー洗浄
      4. 超臨界炭酸ガス流体洗浄
6. しみを作らないリンスと乾燥
7. 洗浄評価
   1. 簡易評価法
   2. 残存汚れ定量法
      1. レーザー光散乱法による粒子汚れ計数法
      2. 有機汚れ定量法
         1. 紫外吸光度法
         2. ガスクロマト法
         3. 赤外多重反射法
      3. 無機汚れ定量法 イオンクロマトグラフィー
      4. 金属汚れ定量法
         1. フレームレス原子吸光法
         2. 誘導結合プラズマ質量分析法 (ICP-MS)
         3. 全反射蛍光X線分析法
      5. 表面分析法による清浄度評価
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