本セミナーでは、歩留まり、信頼性・品質低下の要因を特定し改善するために、粒子発生原因を根絶し付着させない技術とそのノウハウについて詳解いたします。
電子デバイス、高機能フィルム、プラスティック製品製造工程、各種塗装・コーティング工程、食品梱包工程においては、粒子汚染は製品の歩留まりおよび信頼性・品質低下の大きな原因となっている。粒子汚染経路としては、気中からの直接付着と接触面蓄積粒子の転写付着に分類されるが、転写付着の粒子の多くも気中由来の粒子が蓄積したものである。
これら粒子汚染を防止するためには、粒子の発生および付着メカニズムを理解した上で複数の防止対策を立案し、個々の対策の優先順位を考慮して一つ一つ実施していくことが重要である。個々の対策の効果を検証することで、技術・ノウハウが蓄積され、より信頼性の高い対策が実現出来る。
本講では、粒子発生源および粒子付着メカニズムの解説によりその実態を理解した上で、具体的な粒子汚染防止技術と実施手段について詳しく紹介する。