真空技術の応用展開は目覚ましいものがあり、様々な分野における先端技術と高性能基盤技術を支える、なくてはならない重要な黒子になっている。しかし、その高度で広範な応用展開がために、同じ真空技術者であっても、少しモノが変わるとその原理や特性についてまったく知らないことが多い。
また、自ら扱っている真空システムであっても、表面上の付き合いに留まり、機器をブラックボックス化して、日常の運転・保守を続けていることが多い。しかし、このような日常にこそ、トラブルと事故の遠因が潜んでいる。
この講義では、各種真空機器の背景にある物理を基礎から再認識してもらい、真空機器構成部品や真空システムのトラブルと失敗の実例を交えて対策を講義する。
- 基礎の無理解とブラックボックス化がトラブルと事故を起こす!
- 真空作業が絡む大事故例に見る基礎の無理解
- 真空システムとリスクマネジメント
- 無駄なトラブルと事故を避けるため、2時間で学ぶ真空物理の基礎のキ!
- 気体分子運動論と気体の性質
- 気体の流れと真空排気
- 真空排気の理想と現実
- ガス放出速度とは
- 真空材料と加工
- 材料とその特性
- 材料特性を無視した材料選び (使用して後悔する材料)
- 機械加工・接合
- 低真空用でも無視できない表面処理・表面改質
- 低真空用ならベーキング・プリベーキングは不要?
- 真空機器構成部品
- 各種真空ポンプの原理と特徴
- 各種真空計と残留ガス質量分析計の原理と特徴
- その他、真空システムアクセサリー
- 真空システムの設計・製造・運転・保守におけるトラブル事例と解決法
- 真空容器・部品材料の選択ミス
- 排気ポンプと真空計の選択ミス
- 真空ポンプが無駄になる真空配管
- オイルフリー排気系の落とし穴
- そのオペレーションではせっかくの真空システムが汚れる!
- ケチってはいけない真空システムアクセサリー・周辺機器・設備
- 出荷梱包から組立調整の間で生じる瑕疵
- 間違ったヘリウムリークテスト法と解釈
- まとめ