セラミックス・ガラス・金属酸化物・低温無機成膜/ナノコーティング技術と応用展開

第1部 エアロゾルデポジション法による常温セラミックス成膜技術と応用展開

(2013年12月4日 13:00〜15:00) 　 　本講座では最新の表面処理の中から、これまでの溶射技術とは異なり、常温での固体微粒子の衝突付着現象を利用し、常温で緻密、高密着のセラミックスコーティングが可能なエアロソルデポジション法の原理と特徴、現在、耐蝕、耐摩耗部材など実用化がすすめられている応用事例、また、類似技術として溶射分野で注目されているコールドスプレー法との相違やこれらの国内外における開発動向についてご紹介します。

1. セラミックスコーティングの課題 (背景)
2. エアロゾルデポジション法とは?
3. 技術の歴史と類似成膜手法との比較 (溶射法、コールドスプレー法など)
4. 原理と成膜メカニズム
5. 膜の基本特性
6. 電子デバイスへの応用開発
7. エネルギーデバイスへの応用開発事例
8. その他応用開発事例と実用化事例
9. 海外での開発動向
10. これからの課題と展開
• 質疑応答・名刺交換

第2部 室温ガラス薄膜堆積、ナノ金属酸化膜コート技術と応用展開

(2013年12月4日 15:15〜16:25)

　リモートプラズマを用いて、室温で金属酸化膜を形成する技術を開発しました。この方法は被処理物の材種を選ばず、またガスにさらすだけの形成方法であるため、複雑表面でも均一に膜形成ができます。 腐食しやすい樹脂やプラスティックにもセラミックスの耐食性を与えることが可能です。ガスバリアコートとしての利用も期待されます。本講演では、ベースとなる原子層堆積技術について紹介し、本技術の特長であるリモートプラズマを用いた室温堆積技術について解説いたします。

1. 原子層堆積法の用途
2. 原子層堆積法の原理
   1. 装置構成
   2. 原料ガスの種類
   3. 酸化ガスの選択
   4. 化学反応機構
3. 室温プロセス実現のためのプラズマ技術
   1. 従来プラズマ技術
   2. リモートプラズマ
   3. 水蒸気プラズマの有効性
4. 成膜の実例
   1. SiO2
   2. TiO2
   3. HfO2
5. 応用例
   1. アクリル樹脂の防食コートへの応用
   2. 色素増感太陽電池の界面処理技術
• 質疑応答・名刺交換