光学薄膜の設計・成膜・測定の基礎と最新動向

光学薄膜の歴史は非常に古く、多くはカメラレンズ等に代表される反射防止膜 (ARコート) の性能向上のニーズに応える形で進歩してきた。本セミナーでは光学薄膜の設計、成膜技術の基礎から最新の成膜技術、及び光学薄膜のカメラ、スマートフォン、医療機器、環境対応技術などへの応用、さらに今後の展開に関して最近の具体的事例と共に解説する。また宇都宮大学での光学薄膜産学連携の取り組みについても解説する。

1. 光学薄膜の理論
   1. 反射防止膜の原理
   2. 多層膜フィルターの原理
   3. UVカットフィルター、IRカットフィルター
2. 成膜材料
   1. 低屈折率材料
   2. 中間屈折率材料
   3. 高屈折率材料
   4. 金属材料
3. 膜厚制御
   1. 光学式膜厚計の原理
   2. 水晶式膜厚計の原理
4. 真空蒸着装置
   1. 真空装置
   2. 真空計
   3. 真空ポンプ
   4. 電子銃
   5. 抵抗加熱
5. 成膜手法
   1. 真空蒸着
   2. イオン成膜 (IAD、イオンプレーティング)
   3. スパッタリング (マグネトロンSP、IBS、MetaMode)
   4. ゾルゲル
   5. モスアイ
6. 光学薄膜の評価
   1. 光学特性
   2. 屈折率
   3. 膜応力
   4. 膜密着性
   5. 膜分析
7. 光学薄膜の応用事例
   1. デジタルカメラ
   2. スマートフォン (携帯電話)
   3. 液晶TV
   4. プロジェクター
   5. 光ピックアップ
   6. LED
   7. 顕微鏡
   8. 医療機器 (内視鏡)
   9. 太陽電池
   10. 環境対応 (省エネ) 機器
8. 宇都宮大学での光学薄膜産学連携の取り組み
   1. 成膜装置、成膜技術の紹介
   2. 産学連携に関して
9. 光学薄膜の今後の展望
• 質疑応答・名刺交換等