(低圧-大気圧)プラズマによる表面処理技術の基礎、活用方法

近年、各種材料表面の高機能化の社会的ニーズの拡大に伴い、従来広く用いられてきた化学薬品を用いたウエットプロセスから環境に優しいドライプロセス技術の開発が求められている。 　本講座では、最近注目されているドライプラズマプロセスについて、低圧から大気圧までの各種プラズマの生成方法から、それらのプラズマを用いた各種基材の表面処理技術の基礎と応用、および評価法について、分かりやすく解説する。

1. プラズマの生成と制御
   1. プラズマの基本的性質
   2. プラズマ生成技術 – 低圧力から大気圧まで -
2. プラズマを用いた表面処理技術
   1. エッチング
   2. アッシング
   3. プラズマCVD ダイヤモンドライクカーボン薄膜、カーボンナノチューブ、
   4. プラズマ表面改質 官能基修飾 (親水性、撥水性など) 、密着性、バイオ高分子の固定化
   5. プラズマ重合
3. 低圧力マイクロ波放電を用いた表面プロセス
   1. マイクロ波プラズマについて
   2. マイクロ波プラズマ実験装置
   3. 表面波プラズマを用いた表面プロセスの例
   4. 体積波プラズマを用いた表面プロセスの例
4. 大気圧プラズマを用いた表面プロセス
   1. 大気圧放電プラズマについて
   2. 誘電体バリア放電
   3. 大気圧プラズマジェット
   4. 誘電体バリア放電を用いた表面プロセスの例
      • 細管内プラズマ滅菌
      • Tyvek包装内のプラズマ滅菌
   5. 大気圧プラズマジェットを用いた表面プロセスの例
      • キャピラリープラズマによるマスクレスプロセス応用
      • 樹脂基板上銅薄膜堆積への応用
5. 表面評価法 (時間があれば)
   1. XPS
   2. AFM
   3. SEM/TEM
   4. ラマン分光
   5. XRD
6. まとめと今後の課題
• 質疑応用・名刺交換