プラズマ表面処理のメカニズムと解析・評価手法

多くの樹脂の表面はそのままでは阻水性を示すが、これを親水性に変えることで多くの有益な応用が期待できる。プラズマを用いた表面改質の基本的な考え方と主要な計測技術について説明する。その中でも進歩が著しい大気圧プラズマ装置について開発の考え方を述べた後に、これを用いた表面改質の例について解説する。処理対象はPET、炭素紛体を混ぜたポリエチレン、ポリイミドフィルムなどである。特にプラズマ処理を行うにはプラズマ状態の最適化が重要であるので、プラズマ状態の診断法についても言及する。

1. プラズマについて
   1. 定義
   2. プラズマの区分
   3. プラズマパラメータ
2. プラズマ表面処理の原理
   1. 親水性処理
   2. 撥水性処理
   3. 精密クリーニング
3. プラズマ生成装置
   1. 直流プラズマ
   2. 高周波プラズマ
   3. マイクロ波プラズマ
   4. 低気圧プラズマと大気圧プラズマ
4. 診断技術
   1. プラズマの診断
   2. ラジカルの計測
   3. 処理表面の診断
5. 各種材料のプラズマ処理
   1. PETの表面処理
   2. 含炭ポリエチレンの表面処理
   3. ポリイミドの表面処理
   4. プラズマクリーニング
   5. 表面波プラズマによるポリイミドの表面処理
6. まとめ
• 質疑応答・名刺交換