先端MEMSデバイスの開発応用の現状と今後の課題

加速度センサ、ジャイロセンサ、マイクロホンに続く新たな量産MEMSデバイスが待ち望まれている。本セミナーは将来の携帯端末のマルチバンドRFフロントエンドのためのRF-MEMSデバイスとその応用技術を中心に解説する。

1. RF-MEMSデバイス技術とその応用
   1. 背景
   2. MEMS on LTCC 技術
   3. 高Qパッシブデバイス
   4. 周波数可変フィルタ
      • Kバンドフィルタ、PAモジュール
      • Kuバンドフィルタ
      • Sバンドフィルタ、耐パワー特性評価
      • 周波数と帯域幅を可変できるフィルタ
   5. RF-MEMSスイッチ
      • 単接点、SCSビームスイッチ
      • LTCCキャップとAu微粒子を用いるWLP
      • 接点を清浄化するプロセスとWLP
      • 可変アンテナへの応用
   6. MEMS可変キャパシタ
   7. 3DヘテロジーニアスインテグレーションRFモジュール技術
      • 超小型デュプレクサ
      • 三元集積化可変フィルタモジュール
   8. 世界の開発動向と今後の課題
      • 世界の開発動向
      • 今後の課題
2. イナーシャルセンサ、振動子、マイクロホン等の開発動向
   • MEMSイナーシャルセンサ
   • MEMS振動子
   • MEMSマイクロホン