加速度センサ、ジャイロセンサ、マイクロホンに続く新たな量産MEMSデバイスが待ち望まれている。本セミナーは将来の携帯端末のマルチバンドRFフロントエンドのためのRF-MEMSデバイスとその応用技術を中心に解説する。
- RF-MEMSデバイス技術とその応用
- 背景
- MEMS on LTCC 技術
- 高Qパッシブデバイス
- 周波数可変フィルタ
- Kバンドフィルタ、PAモジュール
- Kuバンドフィルタ
- Sバンドフィルタ、耐パワー特性評価
- 周波数と帯域幅を可変できるフィルタ
- RF-MEMSスイッチ
- 単接点、SCSビームスイッチ
- LTCCキャップとAu微粒子を用いるWLP
- 接点を清浄化するプロセスとWLP
- 可変アンテナへの応用
- MEMS可変キャパシタ
- 3DヘテロジーニアスインテグレーションRFモジュール技術
- 超小型デュプレクサ
- 三元集積化可変フィルタモジュール
- 世界の開発動向と今後の課題
- イナーシャルセンサ、振動子、マイクロホン等の開発動向
- MEMSイナーシャルセンサ
- MEMS振動子
- MEMSマイクロホン